参观结束后，顾赟将三人请到一间小会议室。
房间简陋，一张旧会议桌，几把木椅，墙上挂着毛主席像和“实事求是”的标语。
暖水瓶冒着热气，搪瓷缸子里泡着浓茶。
“宋教授，吕辰同志，谢凯同志，刚才你们看到的，就是我们真空所在‘薄膜化学气相沉积’方面的全部家底了。”顾赟开门见山，语气坦诚，“条件艰苦，水平有限。你们从红星所来，见惯了自动化、系统化，看我们这套‘手工作坊’，怕是觉得落后吧？”
宋颜教授摇头：“顾工言重了。恰恰相反，我们深受震撼。在这样简陋的条件下，你们能建立完整的工艺链，能稳定沉积出氮化硅、二氧化硅这些关键材料，这本身就是了不起的成就。”
文昭南教授接口道：“我们和真空所合作时间久，深知他们的难处。主要问题集中在几个方面。”
他扳着手指列举：“第一，‘测不准’与‘控不精’。真空度极限不高，微漏难查；气体流量靠经验估算；温度控制精度差；环境扰动大。
第二，知其然不知其所以然’。工艺严重依赖老师傅的‘手感’，是典型的‘黑箱’，对薄膜的微观结构、应力状态、界面特性几乎一无所知。
第三，‘需求牵引不足，目标模糊’。当前主要是为电子管服务，要求是‘牢固、均匀、耐高温’。但对于未来集成电路所需的纳米级精度、超洁净界面、特定电学性能，既无概念，也无需求。”
顾赟苦笑：“文教授总结得很到位。我们就像在黑暗里摸索，偶尔点亮一根火柴，看到一点光亮，但不知道整个房间是什么样子。”
这时，吕辰从随身背包里拿出一片样品，那是刚才刘师傅制作的氮化硅薄膜基片，顾赟特地送给他们作纪念的。
吕辰将基片举到窗前，对着光仔细观看。
薄膜在阳光下呈现淡淡的蓝紫色虹彩，均匀而致密。
“顾工，文教授。”吕辰转过身，“请允许我说几句可能冒昧的话。”
所有人的目光聚焦在他身上。
“你们的工作，不是‘手工作坊’，而是一门‘艺术’。”吕辰说，“在真空中，用精密的化学反应，在物体表面‘生长’出一层性能完全不同的新物质，这本身就是一种魔法。刘师傅调节阀门时的那种专注，观察流量计浮子时的那种敏锐，是任何自动化设备都无法替代的‘工匠直觉’。”
他走到会议室角落的黑板前，那是一块真正的黑板，表面已经磨得光滑，边缘堆着粉笔灰。
吕辰拿起一支粉笔，开始画图。
他先画了一个简单的结构，两层平行的金属板，中间是绝缘层。“这是电容器，你们熟悉。”
接着，他在绝缘层中间画了一个小方块，引出两条线。“但如果，我们在这里开一个‘门’，用一层极薄的绝缘膜作为‘门’的介质，下面是用特殊处理的半导体材料……”
他快速地画出了一个简易的金属-氧化物-半导体场效应晶体管结构图。
“这就是未来集成电路的基础单元，晶体管。”吕辰用粉笔点了点那层极薄的绝缘膜，“这一层，可能只有几十个原子那么厚。它的厚度均匀性、界面洁净度、电荷陷阱密度，直接决定了晶体管的性能、速度、功耗和可靠性。”
他转身，望着顾赟和文昭南：“你们现在沉积的氮化硅、二氧化硅，正是未来这层‘门介质’的核心候选材料。你们研究的‘化学气相沉积’，将不再是电子管的辅助工艺，而是建造整个微电子大厦的基石技术之一。”
会议室里安静极了，只有暖气管片轻微的嗡鸣。
几位老研究员盯着黑板上的结构图，眼神从疑惑逐渐变为震惊。
他们熟悉电子管，熟悉真空技术，但吕辰描述的这个世界，用一层几十个原子厚的薄膜来控制电流，将成千上万个这样的结构集成在指甲盖大小的硅片上，完全超出了他们的想象。
“可是……这怎么可能？”一位头发花白的老工程师喃喃道，“那么薄的膜，怎么控制厚度？怎么保证均匀？怎么测量？”
“这正是问题的关键。”吕辰放下粉笔，“难点不在于原理，化学反应你们已经掌握了。难点在于，如何将你们所有的经验，从一门依赖老师傅‘手感’和‘直觉’的‘艺术’，变成一套可重复、可量化、可设计的‘精密科学’。”
他回到座位，语气更加恳切：“刘师傅能通过观察浮子位置估算流量，这很了不起。但如果能给他一个质量流量控制器，让流量精确到每秒多少毫升；如果能给他的加热系统装上更精确的温度控制器，让温度稳定在±1°c；如果能用质谱仪实时监测反应腔内的气体成分；如果能用椭圆偏振仪在线测量膜厚……那么，他的经验就不再是‘黑箱’，而可以转化为数学模型，可以写成工艺规范，可以教给其他人。”
顾赟深吸一口气：“吕辰同志，你说的这些设备，我们听说过，但买不到，也造不出来。一台进口的质量流量控制器，要几万美元，还得外汇。椭圆偏振仪，我们这台自制的，已经是所里最精密的仪器了。”
“所以我们需要合作。”宋颜教授接话道，“红星所有‘掐丝珐琅’电路板的经验，有脉冲电机的控制技术，有正在研发的‘电子耳朵’传感系统。我们也许可以从最简单的开始。”
他提出了两个具体方向：“其一，我们可以共同研制一个简易‘射频辉光放电’实验装置。传统的热壁cVd需要高温，对许多基片材料不友好。射频辉光放电可以在较低温度下实现薄膜沉积，这对未来在硅片上集成多层结构至关重要。”
“其二，我们可以为你们的沉积系统加装自制的、基于‘掐丝珐琅’电路的简易温度-流量程序控制器。不需要一步到位达到国际水平，但至少可以做到：设定一个温度曲线，控制器能自动调节加热功率；设定气体流量比例，能通过步进电机驱动的针阀进行粗调。先把数据记录下来，建立工艺参数与薄膜性能的关联数据库。”
谢凯补充道：“我们还可以设计一套简易的数据采集系统，用‘掐丝珐琅’电路板做信号调理和模数转换，把温度、压力、流量这些关键参数实时记录下来。有了数据，就可以做统计分析，找到影响薄膜质量的关键因子。”
文昭南教授眼睛亮了：“这个思路好！先从‘数据化’开始。我们工业学院在自动控制理论方面有积累，可以负责算法和系统建模。真空所有工艺经验，红星所有工程实现能力，三方合作，正好互补！”
顾赟激动地站起来：“我这就写报告，向所领导申请立项！不，我直接去找所长，今天下午就开协调会！”
这时，吕辰想起一件事：“关于温度控制……我们红星所正在研发‘红外测温’技术，可以非接触式测量物体表面温度，精度很高，响应速度快。”
他顿了顿，语气变得谨慎：“但这项技术，目前还处于保密阶段，主要面向国防和重点工业应用。”
顾赟立刻明白：“我懂。我会以真空所名义，正式向红星所提出技术协作申请，走正规渠道，报上级批准。如果‘红外测温’能用到我们的沉积系统上，实现在线监测基片表面真实温度，那将是革命性的进步！”
会议气氛热烈起来，三方人员围在黑板前，你一言我一语，讨论技术细节、分工方案、时间节点。
吕辰看着这些眼睛发亮的研究人员，心中感慨。
他们此刻讨论的，还只是一些简陋的辅助设备、粗糙的数据采集系统。
但在未来，这些尝试将催生出中国的第一代半导体工艺设备，从手动控制的cVd炉，到半自动的淀积系统，再到完全计算机控制的集群式薄膜生长设备。
从“老师傅的手感”到“工艺规范数据库”，从“观察浮子”到“质量流量控制”，从“估计厚度”到“在线膜厚监测”——这条路漫长而艰难，但今天，就在这间简陋的会议室里，第一步已经迈出。
会议持续到中午。
真空所食堂送来了午饭，高粱米饭、白菜炖豆腐、咸菜疙瘩。
大家就着茶水，一边吃一边继续讨论。
文昭南教授提出了一个想法：“宋教授，对于将工艺‘数据化’，我深表赞同。不过，我们现有的检测手段，无论是干涉法测厚，还是电测法测阻，得到的都是宏观、间接的‘结果’参数，无法反映薄膜生长过程中的微观状态变化。”
“我在想，我们能否设法做一个设备，结合我们真空所对电子束的控制经验，学和微弱信号检测方面的理论优势，共同研制一台，嗯，或许可以叫它‘电子探针表面分析以及北大、清华等学校在电子光仪’的原型机？”
他继续阐述道：“它的目标不一定非要达到原子级别的精度，而是专注于解决我们最头疼的几个问题，一是薄膜表面的真实形貌，是否平整、有无凸起或孔洞；二是微小区域的成分是否均匀，比如是否出现杂质偏聚。哪怕分辨率只能做到亚微米级，并能对几个微米大小的区域进行简单的成分激发和光谱分析，对我们理解工艺、建立‘参数-结构-性能’的关联，就是革命性的进步了。”
文昭南教授建议道：“这个目标，我觉得以‘星河计划’协调的力量，加上电子管厂在电子枪和真空部件制造上的经验，是‘跳一跳可能够得着’的。它既能作为未来更高级电镜的技术预研和人才培养，又能立即服务于我们当前工艺优化的迫切需求。你们看，这个方向是否值得探讨？”
这样一个提议，既解决了对“看见微观世界”的终极需求，又脚踏实地、目标合理。
吕辰内心震动，他语气带着压抑不住的兴奋：“文教授，您这个想法太关键了！一针见血！ 我们刚才一直在讨论如何把‘艺术’变成‘科学’，但所有的‘科学’都必须建立在‘观测’的基础上。如果我们连薄膜表面到底是什么样子都看不清，里面的原子是怎么排列的都不知道，那所有的工艺优化都像是在蒙着眼睛调整一台精密的钟表。”
他走到黑板前，在刚才画的晶体管旁边，画出一个简化的SEm原理图，电子枪、电磁透镜、扫描线圈、样品室、探测器。
“这不是一个独立的仪器，文教授。这是为我们整个‘星河计划’打造的‘工业眼睛’。光刻需要检查掩模版的缺陷，薄膜沉积需要观察膜层质量和界面，甚至未来检测芯片的失效点，都离不开它。您提议的，正是打通从‘工艺’到‘认知’最关键的一环。”
紧接着，他迅速将宏伟蓝图拉回到现实：“当然，我们不可能一上来就造出这样的电镜。但我们可以定一个清晰的、分阶段的目标，先造一台‘看得见’的机器。分辨率不追求纳米级，先做到亚微米级，能让我们看清薄膜表面的颗粒、裂纹和针孔，这已经比光学显微镜飞跃了一大步。”
宋颜教授也立刻意识到这个提议的极端重要性和可行性，他接过话头：“文教授这个提议，具有重大的战略意义。它不仅仅是真空所的需求，更是‘星河计划’全链条的共性需求。半导体所需要观察硅单晶的缺陷，长光所需要检测光刻镜头的污染和镀膜质量，我们集成电路实验室未来更需要它来分析失效机理。”
他快速勾勒出一个联合攻关的框架：“这件事，必须由‘星河计划’领导小组来牵头协调。清华和北大的电子物理、电子光学教研室有理论基础；长光所有最精密的光-机加工能力，可以负责镜筒和样品台的精密机械部分；真空所有真空系统和电子枪的经验；电子管厂能生产核心的阴极和高压电源；而我们红星所，可以贡献控制电路，以及系统集成的经验。这正是一次完美的‘全国一盘棋’协作。”
他看向顾赟和文昭南：“顾工，文教授，我建议我们今天就把这个设想作为一个正式的合作意向，写入会议纪要。我下午向刘星海教授和‘星河计划’领导小组汇报，申请将它列为紧急预备项目，协调各单位的顶尖力量组成‘电子光学仪器攻关协作组’。我们可以先从一个可行性研究和方案设计开始。”
顾赟当即提出具体启动方案：“好，既然宋教授负责申请项目，那我们这就立刻开始做事，不等全部批复。首先，拜托文教授联系北大和清华，尽快整理一份关于扫描电镜和电子探针的物理原理、核心参数、技术难点的最简报告，特别是电磁透镜的设计公式和像差理论。其次，我立即联系电子管厂，盘点我们现有哪些部件可以直接用或改造。”
他顿了顿：“我看，我们可以把最难的‘高分辨率成像’放一放，先利用电子管厂生产示波管的技术，制造一个简单的次级电子探测器。哪怕最初成像粗糙，只要能证实电子束轰击样品能产生可探测的信号，就是胜利的第一步。”
会议的气氛会从探讨具体工艺合作，瞬间升维到一项激动人心的国家级尖端仪器攻坚战的起点。
文昭南的提议像一颗火种，瞬间点燃了吕辰团队心中早已准备好的干柴。
这让他感到极大的鼓舞和欣慰，因为他发现自己的“远见”不仅被听懂了，更被一个拥有强大执行力和资源协调能力的团队接住了，并且瞬间被赋予了清晰的路径和国家的重量。
临走前，顾赟郑重地将三个木盒交给宋教授：“这是我们所能做出的最好的氮化硅、二氧化硅、金属铝薄膜样品，每种三片。还有我们历年的实验记录摘要副本。请带回红星所，作为合作的基础。”
“我们一定全力以赴。”宋颜教授握着顾赟的手，“回去后，我们立即组织团队，制定详细合作方案。”
“好！我们等你们的好消息！”
走出真空所，已是下午两点多。
冬日的阳光斜照在红砖楼上，给这座沉默的“战斗堡垒”镀上一层金色。